The laboratory for Micro/Nanofabrication and Nanoanalysis
「微奈米製造與分析實驗室」活用在材料科學工程的兩大專長:「材料製程」與「材料分析」,致力於製造與分析技術在微米及奈米尺度下的突破。結合劉浩志老師當年在美國 Stanford University 習得之材料專業以及設計思考之能力,以及在美國高科技公司工作多年的實戰經驗,將材料科學工程的核心優勢充分跨域應用於各種新穎材料之研究:舉凡3D列印、高熵合金、掃描探針、細菌細胞及生醫材料、鈣鈦礦材料鋰離子電池、機器學習輔助材料AFM分析等,均是曾經或正在進行研究之項目。
實驗室致力於低維度材料與元件的製作與應用,包括石墨烯/量子點複合材料光感測器、石墨烯與奈米金屬的表面電漿效應、設計與製作奈米結構提高光電元件之響應、異質接面太陽電池等,相關研發成果陸續發表於Advanced Science, ACS Nano, Scientific Reports, IEEE Access, IEEE Photonics Technology Letters, Solar Energy Materials and Solar Cells和ECS等重點期刊。
本所為台灣唯一投入磁化電漿研究的研究所,擁有台灣首座磁化電漿實驗室,該設施也是本所核心實驗室。直徑為40公分、長度為1.5米、磁場最大強度為2 kG,能產生電子密度約10^9~10^11 cm^(-3)的電漿,利用Magnetron振盪器可以將電漿加熱到50 eV (約50萬度K以上)的高溫,以研究核融合能源研究與太空科學相關基礎磁化電漿物理實驗。