參賽序號：07
海報主題
Al2O3以軟性溶液直接圖案法於矽基板上之製程分析
系級
材料科學及工程學系
指導老師及參賽學生
指導老師：張高碩
參賽學生：黃聖霖
構想說明
本研究採用軟性溶液直接圖案法，在矽基板上製程Al2O3薄膜，相較於傳統多步驟陶瓷製程工藝，此方式是以單步驟直接製程理想的薄膜圖案，省去蝕刻、燒結等處理，優點是減少原料及能量的損失，同時降低副產物的產生，對環境友好，並能針對微小元件及特定區域得到理想薄膜圖案。在實驗中利用不同濃度的異丙醇鋁(AiP)以Polymerized Complex法製程聚合金屬錯和溶液，並使用超鋒利鎢線針尖，經過高電壓形成類電漿態的高能量以製程薄膜圖案。實驗過程中觀察了不同圖案中電流和電壓的變化，並通過掃描電子顯微鏡、X光繞射儀與光學顯微鏡對所得Al2O3薄膜圖案進行了分析。
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