參賽序號：29
海報主題
Vanadium doped ZnO nanorod array as piezoelectric pressure sensor
系級
材料系
指導老師及參賽學生
指導老師：黃肇瑞
參賽學生：王雅文
構想說明
氧化鋅為Ⅱ-Ⅵ族金屬氧化物，在未進行摻雜的情況下為 n-type 半導體，在室 溫下具有較寬的能隙（ bandgap）（約為 3.37eV），可透過摻雜不同的元素調整其 能隙寬度。氧化鋅具有三種結構，分別為纖鋅礦（ wurtzite），閃鋅礦（ zinc-blende）， 以及岩鹽結構（ rock-salt）。其中最穩定且普遍存在於自然界的為纖鋅礦結構的氧 化鋅，此結構在 c-axis 上的非對稱性使其具有壓電性質。 本篇論文欲探討氧化鋅為主的壓電壓力感測器，而壓力感測器需對外界應力 具有一定的敏感度以產生內部性質的改變，再透過量測內部性質變化來量化外部 的應力。由於氧化鋅兼具半導體性質及壓電性質，故很適合用於製作壓電感測器。
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