參賽序號：42
海報主題
摻鋁氧化鋅薄膜型電感應用於無線RF壓力感測器之研究
系級
材料系
指導老師及參賽學生
指導老師：劉全璞
參賽學生：劉宛臻
構想說明
本實驗目標為將摻鋁氧化鋅(AZO)壓電薄膜感測器設計為薄膜型電感， 用以替代 天線中的電感或電容，透過建構被動電子電路進行電路( RLC circit )模擬，再將不同製 程參數的摻鋁氧化鋅薄膜進行阻抗電性量測，探討元件最佳匹配的等效電路，以應用 於未來無線摻鋁氧化鋅壓力感測器的開發。本實驗透過調整磁控濺鍍摻雜及後退火溫 度，了解材料特性對元件介電係數與阻抗值的關係，並嘗試簡化電路設計，進行不同 製程參數元件的壓力與匹配諧振頻率的研究，以期能實現工作頻率為 13.56 MHz 的 無線壓力感測器。
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